製品紹介

フラットパネルディスプレイ製造関連装置

プラズマクリーニング装置

プラズマによるラジカルを照射し、有機物除去と濡れ性を改善する装置。高周波、マイクロ波は使いません。

特徴・用途

ラジカルのみの化学反応でワークにダメージを与えない

型式 DTS-01
用途 開発

仕様の一例

項 目 仕 様
外形寸法 W1130xD1130xH1700mm
チャンバーサイズ 内寸 W550xD600xH200mm
反応ガス 窒素、酸素、アルゴン、空気
制御方式 シーケンサ制御 
処理時間 1秒~30分(秒単位設定)
チャンバー材質 アルミニウム挽き出し
電源 3φ AC200V 20A 50Hz/60Hz

オプション

※仕様は基板サイズにより異なります。 詳細はお問合せ下さい。