製品紹介

洗浄機・一般工業・研究開発装置

多槽式洗浄装置

HDD基板や光学レンズをバッチ式で洗浄する装置

特徴・用途

サブミクロンオーダーのパーティクルまで除去 除去すべきパーティクルの種類により最適洗浄法を選択

仕様の一例

項 目 仕 様
装置概要 本装置は、ガラスレンズ入りカセットを専用外カゴに収納して搬送し、洗浄・ リンス・乾燥を自動で行う装置です。
本体寸法 約 5,400mm(L)×1,300mm(W)×2,060mm(H)
本体重量 約 3500kg (乾燥重量)  但しC/V類は除く
搬送方式 入口C/V(シャトル搬送) 洗浄装置本体(ホールドラン+ビーム搬送) 出口C/V (シャトル搬送)
パスライン 入口投入725mm 装置内搬送1175mm 出口取出し725mm
処理タクト 標準 約 150sec(洗浄120sec+搬送30sec)
始動準備時間 約 60min(昇温時間)

オプション

※仕様は基板サイズにより異なります。 詳細はお問合せ下さい。