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플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치
러빙 장치
액정 분자를 배향시키기 위해서 배향막을 일정 방향, 일정 방위에 문지르는 장치
특징 · 용도
TN에서 FFS(IPS)까지 대응한 장치 G8.5 기판까지 대응. 롤러와 스테이지의 고정도 GAP, 균형이 잘 잡힌 고정도 롤러, 안정된 주행 정밀도
| 형식 | RLA・RLB・RLD・RLF 시리즈 |
|---|---|
| 용도 | 액정 배향막 배향 처리 |
사양의 일례
| 항 목 | 사 양 |
|---|---|
| 러빙 방식 | 스테이지 구동 회전 러빙 방식 싱글 롤러 형／더블 롤러 형 |
| 스테이지 속도 | 1～800ｍｍ／초 |
| 스테이지 재질 | 불소 코팅 스테이지 혹은 세라믹 스테이지 |
| 스테이지 구동 방법 | 볼스크류 혹은 리니어 모터 |
| 롤러 회전수 | 1～2,000（3,000）rpm |
| 롤러 재질 | Aℓ or Aℓ／CFRP 복합 재질 |
| 롤러 각도 | -47도～+47도 |
| 롤러와 스테이지의 갭 정 밀도 | ±40μｍ（G8） |
| 정전기 제어 | 포토 이오나이저・이오나이저・가습 경사 기판 박리・기타 |
| 기타 (옵션) | ※ 이하의 옵션 장치도 상담에 응합니다. 편심 측정기 천 붙이기 장치・롤러 자동 교환・롤러 보관고 |