제품 소개

플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치

광배향 기판 주행 장치

광배향 공정에 있어서 자외선 광선 밑을 일정 속도로 기판을 주행시키는 장치

특징 · 용도

고정도의 요잉 특성

형식 PA 시리즈
용도 FPD

사양의 일례

항 목 사 양
반송 속도 5~500 mm/초
구동 방식 리니어모터(또는 볼나사 +AC 서보 모터)
스테이지 회전 하모닉 기어+AC 서보 모터
각도 보정 정밀도 ±0.01°이내
각도 보정 방식 CCD 카메라에 의한 화상 처리, Auto Alignment에 의한 각도 보정
스테이지 주행 정밀도 ±0.5mm 이내(흔들림 ±0.05mm 이내)
제전 대책 포토 이오나이저, 제전 바를 설치 가능
F.F.U. ULPA, 또는 HEPA 설치 가능
편광 측정기 탑재 가능
스테이지 냉각 별도 협의(미팅)

옵션

※ 검토시 문의하여 주십시오.