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플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치
광배향 기판 주행 장치
광배향 공정에 있어서 자외선 광선 밑을 일정 속도로 기판을 주행시키는 장치
특징 · 용도
고정도의 요잉 특성
형식 | PA 시리즈 |
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용도 | FPD |
사양의 일례
항 목 | 사 양 |
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반송 속도 | 5~500 mm/초 |
구동 방식 | 리니어모터(또는 볼나사 +AC 서보 모터) |
스테이지 회전 | 하모닉 기어+AC 서보 모터 |
각도 보정 정밀도 | ±0.01°이내 |
각도 보정 방식 | CCD 카메라에 의한 화상 처리, Auto Alignment에 의한 각도 보정 |
스테이지 주행 정밀도 | ±0.5mm 이내(흔들림 ±0.05mm 이내) |
제전 대책 | 포토 이오나이저, 제전 바를 설치 가능 |
F.F.U. | ULPA, 또는 HEPA 설치 가능 |
편광 측정기 | 탑재 가능 |
스테이지 냉각 | 별도 협의(미팅) |
옵션
※ 검토시 문의하여 주십시오.