제품 소개

플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치

US 크리너 장치

FPD 등에 부착한 이물질을 접촉하지 않고 초음파 에어를 이용해서 클리닝하는 장치

특징 · 용도

드라이 클리너로 1.6μm의 분진을 100% 제거 할 수 있습니다. 드라이 세척 방식이기 때문에 물・약액 등을 사용하지 않습니다. 편면・양면의 클리닝이 가능합니다.

형식 USC・USH 시리즈
용도 LCD, OLED, 태양 전지 패널의 제조

사양의 일례

항 목 사 양
스테이지 사이즈 ~제10세대까지 대응
스테이지 재질 각종 대응(Ceramic)
압력핀 재질 각종 대응
압력핀 구동 방법 CAM 기구의 PULSE MOTOR
압력 스트로크 50mm~105mm(고정)
흡착 패드 Φ15mm VITON제
스테이지 구동 BALL SCREW + AC SERVO MOTOR
스테이지 속도 5~600mm/초
설정방법 조작 판넬내에 디지털 설정
클리너 헤드 각 메이커 선정
헤드 폭 유효 길이+α
기판 두께 측정 설치
VCR 옵션
얼라이먼트 기구 옵션
제전 대책 옵션