제품 소개

플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치

ODF 장치

한 쪽 기판에 씰제를 도포, 액정을 적하, 진공중에서 두 장의 기판을 소정의 Gap으로 중첩(겹치는)하는 장치

특징 · 용도

기판을 세트한 후 액정 적하, UV 경화 수지 도포, 얼라이먼트, 진공중에서의 맞춰 붙임, UV 조사에 의한 임시 고정까지 자동으로 할 수 있습니다.

형식 ODF 시리즈
용도 LCD 시작 (Lab용에 최적)

사양의 일례

항 목 사 양
장치 사이즈 1600mm(D)×1200mm(W)×2200mm(H)
대응 기판 사이즈 40mm×30mm~250mm×200mm 0.4~5t
처리 능력 3~5분 정도
기판 고정 진공 흡착과 점착 시트의 병용
스테이지 재질 하기판용:알루미늄, 상기판용:유리
얼라이먼트 방식 CCD 카메라에 의한 자동 얼라이먼트(수동 얼라이먼트도 가능)
얼라이먼트 스테이지 이동량 X=±3mm Y=±3mm θ=±3°, 진공 대응
맞대 붙이는 정밀도 ±2μ
액정 적하량 1~5μl(1점)、임의의 속도로 수백점 적하 가능
액정 공급 방식 시린지에 의한 공급
UV 경화 수지 공급 방식 시린지에 의한 공급
도달 진공도 1Pa 이하 (1~50Pa까지 임의로 설정 가능)
UV 임시 경화 UV 경화 수지용 디스펜서, UV 조사 장치 붙어 있음

옵션

※ 사양은 기본 사이즈마다 다릅니다. 자세한 내용은 문의하여 주십시오.