제품 소개

플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치

배향막 박리 장치(플라스마)

산소 플라스마를 발생시켜 PI인쇄 조건을 내기 위해 이용한 더미(모형 견본 모델)기판의 PI막을 박리하여 기판을 재생시킨다.

특징 · 용도

래디컬+이온의 화학 반응으로서 반응을 촉진

사양의 일례

항 목 사 양
형식 RPS-01
방전 방식 RF 고주파(60MHZ) 특수 전극형 고정도 플라스마
고주파 출력 최대 900W
제어 방식 시퀀서 제어 터치 PI인쇄 조건 설정시에 사용 완료된 Dummy 기판의
처리 시간 1초~30분(초 단위 설정)
외형 치수 W1130xD1130xH1700mm
챔버 재질 알루미늄을 끌어 냄
챔버 사이즈 안 치수 W550xD600xH300mm
반응 가스 O₂ N₂ (Ar)
정화 가스 에어 또는 N₂
유량 제어 퍼지 미터(MFC:옵션)
배기 속도 컨덕턴스 제어 밸브에 의한 가변
진공 펌푸 드라이 펌프  900/1100리터/분 50/60Hz
비상 정지 전면 푸쉬식
전원 3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz

옵션

※ 사양은 기판 사이즈에 따라 달라집니다.자세한 내용은 문의하여 주십시오.