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플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치
배향막 박리 장치(플라스마)
산소 플라스마를 발생시켜 ＰＩ인쇄 조건을 내기 위해 이용한 더미(모형 견본 모델)기판의 ＰＩ막을 박리하여 기판을 재생시킨다.
특징 · 용도
래디컬＋이온의 화학 반응으로서 반응을 촉진
사양의 일례
| 항 목 | 사 양 |
|---|---|
| 형식 | RPS-01 |
| 방전 방식 | RF 고주파(60MHZ) 특수 전극형 고정도 플라스마 |
| 고주파 출력 | 최대 900W |
| 제어 방식 | 시퀀서 제어 터치 PI인쇄 조건 설정시에 사용 완료된 Dummy 기판의 |
| 처리 시간 | 1초～30분(초 단위 설정) |
| 외형 치수 | W1130xD1130xH1700mm |
| 챔버 재질 | 알루미늄을 끌어 냄 |
| 챔버 사이즈 | 안 치수 W550xD600xH300mm |
| 반응 가스 | O₂ N₂ (Ar) |
| 정화 가스 | 에어 또는 N₂ |
| 유량 제어 | 퍼지 미터(MFC:옵션) |
| 배기 속도 | 컨덕턴스 제어 밸브에 의한 가변 |
| 진공 펌푸 | 드라이 펌프 900/1100리터/분 50/60Hz |
| 비상 정지 | 전면 푸쉬식 |
| 전원 | 3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz |
옵션
※ 사양은 기판 사이즈에 따라 달라집니다.자세한 내용은 문의하여 주십시오.