제품 소개

플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치

플라스마 클리닝 장치

ＬＣＤ 기판의 전극 단자부에 플라스마에 의한 래디컬을 조사하여 유기물 제거와 젖는 성질을 개선하는 장치 개선하는 장치

특징 · 용도

래디컬만의 화학 반응으로 워크에 타격을 주지 않는다.

사양의 일례

항 목	사 양
형식	MPS-05
방전 방식	마이크로파 무전극 방전
마이크로파 출력	200W～950W
제어 방식	시퀀서 제어 터치 패널･디지털 표시
처리 시간	1초～30분(초 단위 설정)
외형 치수	W1130xD1130xH1700mm
챔버 재질	알루미늄을 끌어 냄
챔버 사이즈	안 치수 W550xD600xH200mm
반응 가스	O₂ N₂ (Ar) O₂ N₂ (Ar)
정화 가스	에어 또는 N₂
유량 제어	퍼지 미터 (MFC: 옵션)
배기 속도	컨덕턴스 제어 밸브에 의한 가변
진공 펌프	드라이 펌프 1100리터/분
비상 정지	전면 푸쉬식
전원	3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz

옵션

※ 사양은 기본 사이즈마다 다릅니다. 자세한 내용은 문의하여 주십시오.