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플랫 패널 디스플레이 제조 관련 장치
플라스마 클리닝 장치
LCD 기판의 전극 단자부에 플라스마에 의한 래디컬을 조사하여 유기물 제거와 젖는 성질을 개선하는 장치 개선하는 장치
특징 · 용도
래디컬만의 화학 반응으로 워크에 타격을 주지 않는다.
사양의 일례
항 목 | 사 양 |
---|---|
형식 | MPS-05 |
방전 방식 | 마이크로파 무전극 방전 |
마이크로파 출력 | 200W~950W |
제어 방식 | 시퀀서 제어 터치 패널・디지털 표시 |
처리 시간 | 1초~30분(초 단위 설정) |
외형 치수 | W1130xD1130xH1700mm |
챔버 재질 | 알루미늄을 끌어 냄 |
챔버 사이즈 | 안 치수 W550xD600xH200mm |
반응 가스 | O₂ N₂ (Ar) O₂ N₂ (Ar) |
정화 가스 | 에어 또는 N₂ |
유량 제어 | 퍼지 미터 (MFC: 옵션) |
배기 속도 | 컨덕턴스 제어 밸브에 의한 가변 |
진공 펌프 | 드라이 펌프 1100리터/분 |
비상 정지 | 전면 푸쉬식 |
전원 | 3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz |
옵션
※ 사양은 기본 사이즈마다 다릅니다. 자세한 내용은 문의하여 주십시오.