제품 소개

세정기・일반 공업 ・연구 개발 장치

진공 증착 장치

저항 가열식의 진공 증착 장치

특징 · 용도

연구실(래버러토리)에서 사용하는 데 최적한 콤팩트 사이즈이며 금속, 금속 산화물의 증착이 가능하다

사양의 일례

항 목 사 양
챔버 안 치수 W300×D300×H400(mm) 
도달 진공도 4Pa 오더까지 대기압부터 약 30분(금증착의 경우 기준) W800×D770×H1510(mm)/표준
증착 방식 저항 가열 2원 (동시 증착 불가)
수정 발신식 막후 모니터 첨부 기판 홀더-회전 기구를 장비. 회전수 조절 기능 첨부.
셔 터 증착원 및 기판 홀더부에 장비
진공 펌프 로터리-펌프+확산 펌프
진공계 피라니 진공계+광대역 전리 진공계
제어 방식 프로그래머블 시퀀서
장치 사이즈 W800×D770×H1510(mm)/표준
중량 약 180Kg
전원 AC200V 3상  50Hz/60Hz  30A
압축 공기 0.6Mpa~1Mpa  50L/분 이상
압축 질소 0.3Mpa~0.7Mpa  30L/분
냉각수 3L/MIN(20도) 차압 0.2MPa 필요.

옵션

※ 사양은 기본 사이즈마다 다릅니다. 자세한 내용은 문의하여 주십시오.