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平板顯示製造設備

濕式 顯影設備・蝕刻設備・剝離設備

利用藥液將被曝光後的光刻膜顯影或者採用酸蝕刻方式的枚葉式處理設備 此設備也適用於Touch Panel觸摸屏生產線

特點・用途

適用於ROLL TO ROLL FILM

規格

項 目 規 格
對象 LCD用玻璃基板
尺寸 370×400.470 t0.4、0.55、0.7、1.1
◎基本規格 -
本體尺寸 長(行進方向長度)  寬   高(有分段)
- 約7,530[mm]×1,400[mm]×FL+1,650[mm] (不含突起部)
本體重量 約4,000kg(乾燥時重量)
傳送方式 水平枚葉式傳送方式

選項

※根據基板尺寸不同規格會有所不同,詳情請來電諮詢。