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平板顯示製造設備

光配向基板搬送設備

在光配向工序紫外線光照射下以一定速度搬送基板的設備

特點・用途

高精度的偏航特性

型號 PA系列
用途 FPD

規格

項 目 規 格
搬送速度 5 ~ 500 mm/sec.
驅動方式 直线馬達(或滾珠螺杆+AC伺服馬達)
Stage旋轉 Harmonic齒輪+AC伺服馬達
角度補正精度 ±0.01°以内
角度補正方式 通過CCD Camera圖像處理,進行自動對位角度補正
Stage走行精度 ±0.5mm 以内(偏差±0.05mm以内)
除静電対策 可設置Photo Ionizer,除電Bar
F.F.U. ULPA、或HEPA設置可
偏光測定器 裝設可
Stage冷卻 另議

選項

※ 如有意請來電洽談。