產品資訊

平板顯示製造設備

US清洗機

利用超聲波以非接觸方式除去附著於FPD上的污染物質的清洗設備。

特點・用途

通過乾式清洗能將1.6μm的粉塵100%除去。因為是乾式清洗方式,不使用任何的水・藥液。單面・雙面都可清洗。

型號 USC・USH系列
用途 LCD,OLED,太陽能電池芯板製造

規格

項 目 規 格
Stage尺寸 ~第10代為止都可對應
Stage材質 各種都可對應(Ceramic)
Pin材質 各種都可對應
Pin驅動方法 CAM機構的脉衝電机PULSE MOTOR
頂銷行程 50mm~105mm(固定)
吸附Pad Φ15mm VITON製
Stage驅動 BALL SCREW + AC SERVO MOTOR
Stage速度 5~600mm/sec
設定方法 觸摸屏內數字設定
乾洗头 廠家可選
乾洗头寬幅 有效長+α
基板厚度測定 可設定
VCR 選項
對位機構 選項
除静電 選項