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平板顯示製造設備

配向膜剝離設備(等離子)

使其產生氧化等離子,對PI印刷條件測試用基板進行PI膜剝離,重製基板

特點・用途

自由基Radical+離子化學反應

規格

項 目 規 格
型號 RPS-01
放電方式 RF高周波(60MHZ) 特殊電极型高密度等離子
高周波輸出功率 最大900W
控制方式 程控 觸摸屏・數字顯示
處理時間 1秒~30分(按秒單位設定)
外形尺寸 W1130xD1130xH1700mm
反應室Chamber材質
反應室Chamber尺寸 內寸 W550xD600xH300mm
反應氣體 O₂ N₂ (Ar)
清除Purge氣體 Air 或 N₂
流量控制 Purge Meter(MFC:選項)
排氣速度 可通過傳導控制閥来變更
真空泵 幹式泵 900/1100L/min 50/60Hz
緊急停止 前推式
電源 3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz

選項

※根據基板尺寸不同規格會有所不同,詳情請來電諮詢。