產品資訊

平板顯示製造設備

等離子清洗設備

用等離子自由基照射LCD基板的電極端子部分,除去有機物並改善其濕潤性的設備

特點・用途

只有自由基化學反應不會對工件造成損傷

規格

項 目 規 格
型號 MPS-05
放電方式 微波 無電極放電
微波輸出功率 200W~950W
控制方式 程控 觸摸屏・數字顯示
處理时间 1秒~30分(按秒單位設定)
外形尺寸 W1130xD1130xH1700mm
反應室Chamber材質
反應室Chamber尺寸 内寸 W550xD600xH200mm
反應氣體 O₂ N₂ (Ar)
清除Purge氣體 Air 或 N₂
流量控制 Purge Meter(MFC:選項)
排氣速度 可通過傳導控制閥来變更
真空泵 幹式泵 1100L/min
緊急停止 前推式
電源 3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz

選項

根據基板尺寸不同規格會有所不同,詳情請來電諮詢。