产品介绍

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平板显示制造设备

配向膜剥离设备(等离子)

使其产生氧化等离子,对PI印刷条件测试用基板进行PI膜剥离,重制基板

特点・用途

自由基Radical+离子化学反应

规格

项目 规格
型号 RPS-01
放电方式 RF高周波(60MHZ) 特殊电极型高密度等离子
高周波输出功率 最大900W
控制方式 程控 触摸屏・数字显示
处理時間 1秒~30分(按秒单位设定)
外形尺寸 W1130xD1130xH1700mm
反应室Chamber材质
反应室Chamber尺寸 内寸 W550xD600xH300mm
反应气体 O₂ N₂ (Ar)
清除Purge气体 Air 或 N₂
流量控制 Purge Meter(MFC:选项)
排气速度 可通过传导控制阀来变更
真空泵 干式泵 900/1100L/min 50/60Hz
紧急停止 前推式
电源 3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz

选项

※ 根据基板尺寸不同规格会有所不同,详情请来电咨询。