产品介绍

平板显示制造设备

等离子清洗设备

用等离子自由基照射LCD基板的电极端子部分,除去有机物并改善其湿润性的设备

特点・用途

只有自由基化学反应不会对工件造成损伤

规格

项目 规格
型号 MPS-05
放电方式 微波 无电极放电
微波输出功率 200W~950W
控制方式 程控 触摸屏・数字显示
处理时间 1秒~30分(按秒单位设定)
外形尺寸 W1130xD1130xH1700mm
反应室Chamber材质
反应室Chamber尺寸 内寸 W550xD600xH200mm
反应气体 O₂ N₂ (Ar)
清除Purge气体 Air 或 N₂
流量控制 Purge Meter(MFC:选项)
排气速度 可通过传导控制阀来变更
真空泵 干式泵 1100L/min
紧急停止 前推式
电源 3φ AC200V 30A 50Hz/60Hz

选项

根据基板尺寸不同规格会有所不同,详情请来电咨询。