产品介绍

清洗机・一般工业・研发设备置

真空蒸镀设备

电阻加热式真空蒸镀设备

特点・用途

最适合于研究实验室使用的小型装置,可进行金属、金属氧化物的蒸镀

规格

项目 规格
Chamber内寸 W300×D300×H400(mm) 
达到真空度 从大气压到4Pa级, 约30分钟(以金蒸镀时为基准)
蒸镀方式  电阻加热 二元式(同时蒸镀不可)
水晶发信式膜厚监测-附带 基板支架-配有旋转机构。旋转数带调整机能。
挡门(挡板) 蒸镀源及基板支架部都有配装
真空泵 旋转泵+扩散泵
真空计  Pilani真空计+广域电离真空计
控制方式 可编程控制器
设备尺寸 W800×D770×H1510(mm)/标准
重量 约180Kg
电源  AC200V 3相 50Hz/60Hz  30A
压缩空气 0.6Mpa~1Mpa  50L/min以上
压缩氮气 0.3Mpa~0.7Mpa  30L/min
冷却水 3L/MIN(20度) 需要差圧0.2MPa。

选项

※ 根据基板尺寸不同规格会有所不同,详情请来电咨询。