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製品紹介

フラットパネルディスプレイ製造関連装置


USクリーナー装置 
FPDなどに付着した異物を非接触で超音波エアーを利用してクリーニングする装置



 
 
 
 
 
特徴

ドライクリーナーで1.6μmの粉塵を100%除去できます。 ドライ洗浄方式なので、水・薬液など使用しません。 片面・両面のクリーニングが可能です。

型式 USC・USHシリーズ
用途 LCD,OLED,太陽電池パネルの製造

仕様
項 目 仕 様
ステージサイズ ~第10世代まで対応
ステージ材質 各種対応(Ceramic)
突き上げピン材質 各種対応
突き上げピン駆動方法 CAM機構のPULSE MOTOR
突き上げストローク 50mm~105mm(固定)
吸着パッド Φ15mm VITON製
ステージ駆動 BALL SCREW + AC SERVO MOTOR
ステージ速度 5~600mm/sec
設定方法 操作パネル内デジタル設定
クリーナーヘッド 各メーカー選定
ヘッド幅 有効長+α
基板厚み測定 設置
VCR オプション
アライメント機構 オプション
除電対策 オプション
 
ING 株式会社
飯沼ゲージ製作所
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