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Conveyor system for photo-alignment

ING 광배향용 반송 시스템의 POINT

승강 기능을 채용

"승강 기능을 추가함으로써 기존의 평면적인 동작이 아닌 입체적인 동작을 실현. 7축 독립 구동의 간단한 구조 설계로 기존 제품에 비해 약 23%의 공간 절약 효과를 실현. ※1,500mm×1,850mm 유리 치수의 당사 설계 치수 대비 "

▼자세한 내용은 문의하여 주십시오.

[연속 조사로 인한 효율화]

"입체 구동 방식의 실현으로 기존의 구조에서는 어려웠던 연속적인 조사 동작이 가능하게 되었습니다.
연속적인 조사 동작으로 기존 제품에 비해 19%의 택트 타임 단축을 실현
※조사 속도에 따라 달라집니다. "

▼자세한 내용은 문의하여 주십시오.

사양

여러 액정 디스플레이 생산 공정용 장비를 제작하는 과정에서 축적한 다양한 기술을 살려 고정밀 얼라이먼트와 워크 반송을 실현하고 있습니다.

  Specifications list General requirements specifications

정밀도・성능

Stage Pitching

±0.05°
Stage Yawing ±0.02°
Stage Rolling ±0.05°
스테이지와 램프 하우스의 직행도 90±0.005°
편광 측정기 이동축 Pitching ±0.05°
편광 측정기 이동축 Yawing ±0.02°
편광 측정기 이동축 Rolling ±0.05°
스테이지와 편광 측정기 이동축의 직행도 90±0.05°
기판 얼라이먼트 정밀도 ±0.01°
설비 기구 스테이지 회전 범위 -10°〜+100°
Stage Type Pin Stage
기판 투입구/취출구 셔터 설치
사용 부재 자외선에 대한 내성 필요
 
ING
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