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Conveyor system for photo-alignment

ING光配向用搬送系統特徵

採用升降機構

非傳統的平面式動作,升降機構的追加實現了立體式的動作。 7軸獨立驅動下簡單的構造設計,與傳統設備相比節省23%的空間。
※相對本公司1500mm×1850mm的玻璃基板的設備而言

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連續照射實現高效率

立體驅動方式使得以往的構造難以實現的連續照射動作成為可能。
連續照射使得生產節拍比以往設備縮短了19%。
※根據照射的速度有所變化
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規格

在適用於液晶顯示器各種生產工藝的設備製造過程中,開發培養出多種技術。這些技術的使用實現了高精度的對位及搬送。

  Specifications list General requirements specifications

精度 性能

Stage Pitching

±0.05°
Stage Yawing ±0.02°
Stage Rolling ±0.05°
Stage與UV燈的垂直度 90±0.005°
偏光測定器移動軸 Pitching ±0.05°
偏光測定器移動軸 Yawing ±0.02°
偏光測定器移動軸 Rolling ±0.05°
Stage與偏光測定器移動軸的垂直度 90±0.05°
玻璃基板對位精度 ±0.01°
設備機構 Stage旋轉範圍 -10°〜+100°
Stage Type Pin Stage
玻璃基板投入口/取出口 設置Shutter
使用材料 耐紫外線照射
 
ING 株式會社
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