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光配向用搬送システム

ING 光配向用搬送システムのPOINT

【昇降機能を採用】

従来の平面的な動きではなく、昇降機能を追加することにより立体的な動作を実現。 7軸の独立駆動で構成されたシンプルな構造設計により、従来製品と比べて約23%の省スペース化を実現。
※1,500mm×1,850mmのガラス寸法における当社設計寸法比

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【連続照射による効率化】

立体駆動方式の実現により従来構造では難しかった連続的な照射動作が可能となりました。
連続的な照射動作により、従来製品と比べて19%のタクトタイム短縮を実現
※照射速度により変動します。

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仕 様

様々な液晶ディスプレイ生産工程用装置を制作する中で、多くの技術を培ってきました。
その技術を生かし、高精度なアライメントとワーク搬送を実現しています。

  仕様項目 一般要求仕様

精度・性能

ステージ ピッチング

±0.05°
ステージ ヨーイング ±0.02°
ステージ ローリング ±0.05°
ステージとランプハウスの直行度 90±0.005°
偏光測定器移動軸 ピッチング ±0.05°
偏光測定器移動軸 ヨーイング ±0.02°
偏光測定器移動軸 ローリング ±0.05°
ステージと偏光測定器移動軸の直行度 90±0.05°
基板アライメント精度 ±0.01°
設備機構 ステージ回転範囲 -10°〜+100°
ステージ タイプ ピン ステージ
基板投入口/取出口 シャッター設置
使用部材 紫外線に耐性のあること
 
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飯沼ゲージ製作所
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